nitơ triflorua
Giơi thiệu sản phẩm:
Nitrogen triflorua (NF3) là một loại khí không màu, không mùi, ổn định và là chất oxy hóa mạnh.Nitơ triflorua có nhiệt độ nóng chảy - 206,8 ℃ và nhiệt độ sôi - 129,0 ℃, và không hòa tan trong nước.Là một loại khí ăn mòn plasma tuyệt vời trong ngành công nghiệp vi điện tử, nitơ triflorua bị phân hủy thành các ion flo hoạt động trong quá trình ăn mòn plasma.Khi ăn mòn silicon và silicon nitride, nitơ triflorua có tốc độ ăn mòn và độ chọn lọc cao hơn carbon tetraflorua và hỗn hợp carbon tetraflorua và oxy, đặc biệt là khi độ dày nhỏ hơn 1,5 μm. Trong quá trình ăn mòn vật liệu mạch tích hợp của m, nitơ triflorua có tác dụng tuyệt vời tốc độ ăn mòn và độ chọn lọc, không để lại cặn trên bề mặt của vật thể khắc, đồng thời cũng là một chất tẩy rửa rất tốt.
chỉ số sản phẩm:
| 项目 Vật phẩm | 单位 Đơn vị | 指标 Indexs | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Tỷ lệ phần trăm | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Florua thủy phân（Đo bằng HF）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Hướng dẫn sử dụng:
Nitơ triflorua có thể được sử dụng làm nguồn flo cho khí laze hóa học năng lượng cao, đồng thời làm chất ăn mòn cho các vật liệu bán dẫn như polysilicon, silicon nitride, vonfram silic, v.v. Nó cũng có thể được sử dụng làm chất tẩy rửa cho buồng lắng đọng hơi hóa học và tấm nền LCD của sản xuất chip bán dẫn.Sử dụng nitơ triflorua làm chất tẩy rửa cho hộp CVD có thể giảm khoảng 90% lượng khí thải gây ô nhiễm so với perfluorocarbons, đồng thời cải thiện đáng kể tốc độ làm sạch và khả năng làm sạch.
Đóng gói và bảo quản:
Nitrogen triflorua được đổ đầy trong các bình thép liền mạch với thể tích lần lượt là 8L, 40L, 43,3L và 47L;Áp suất xi lanh là 9,0-13,0MPa.Các thông số kỹ thuật đóng gói cụ thể có thể được tùy chỉnh và thay đổi theo nhu cầu của người dùng.
