Bo triflorua
Công thức phân tử: BF3
Trọng lượng phân tử: 67,80
KHÍ SỐ: 7637-07-2
Điểm nóng chảy: - 127 ℃
Điểm sôi: - 100 ℃
Điểm chớp cháy: 4 ℃
Độ hòa tan trong nước: hòa tan trong nước
Giơi thiệu sản phẩm
Ở nhiệt độ và áp suất bình thường, bo triclorua 11 (B11Cl3) là một chất khí khói không màu, dễ cháy, có mùi hăng và axit.Nó phân hủy thành hydro clorua và axit boric khi gặp nước và giải phóng rất nhiều nhiệt.Nó tạo ra khói do quá trình thủy phân trong không khí ẩm ướt và phân hủy thành axit clohydric và este axit boric trong rượu.Boron trichloride 11 có khả năng phản ứng mạnh và có thể tạo thành nhiều hợp chất phối hợp.Bo triclorua có thể phản ứng với thủy tinh và gốm sứ khi nung nóng, và cũng có thể phản ứng với nhiều chất hữu cơ để tạo thành các hợp chất boron hữu cơ khác nhau.Bo triclorua 11 có độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng để pha tạp khuếch tán trong quy trình sản xuất các thiết bị bán dẫn (silicon).Ở nhiệt độ cao, các tạp chất boron được tạo ra do quá trình phân hủy khuếch tán vào silicon để tạo thành chất bán dẫn loại P.Nó cũng có thể được sử dụng để khắc khô Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi và các vật liệu khác.
đặc điểm kỹ thuật chất lượng
| 项目Items | 单位Đơn vị | 指标Index |
| 三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ | Tỷ lệ phần trăm | 99.9995 |
| 氧+氩Oxy+Argon | Vol.ppm | 1 |
| 氮Nitơ | Vol.ppm | 4 |
| Khí thải carbon monoxide | Vol.ppm | 0,5 |
| Khí thải carbon dioxide | Vol.ppm | 0,2 |
| khí metan | Vol.ppm | 0,5 |
| 总杂质含量Tổng hàm lượng tạp chất≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子Ion kim loại | Vol.ppm | 供需双方商定 |
| Thỏa thuận cung cầu |
Ứng dụng
Bo triclorua 11 có độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng trong pha tạp khuếch tán, cấy ion, khắc khô và các quy trình khác trong sản xuất thiết bị bán dẫn và mạch tích hợp.Bo triclorua 11 cũng có thể được sử dụng để sản xuất bo có độ tinh khiết cao, chất xúc tác cho tổng hợp hữu cơ, chất trợ dung để phân hủy silicat và chất phụ gia cho chất khử oxy, nitrua và cacbua trong quá trình tinh chế hợp kim.
