nitrojen triflorür
Ürün tanıtımı:
Azot triflorür (NF3) renksiz, kokusuz, kararlı bir gaz ve güçlü bir oksitleyicidir.Azot triflorürün erime noktası - 206.8 ℃ ve kaynama noktası - 129.0 ℃'dir ve suda çözünmez.Mikroelektronik endüstrisinde mükemmel bir plazma aşındırma gazı olarak nitrojen triflorür, plazma aşındırma sırasında aktif flor iyonlarına ayrıştırılır.Silisyum ve silisyum nitrürü aşındırırken, nitrojen triflorür, özellikle kalınlık 1,5 μ'dan az olduğunda, karbon tetraflorür ve karbon tetraflorür ve oksijen karışımından daha yüksek aşındırma hızına ve seçiciliğe sahiptir. aşındırma hızı ve seçiciliği, aşındırılan nesnenin yüzeyinde kalıntı bırakmaması ve aynı zamanda çok iyi bir temizlik maddesidir.
Ürün dizini:
| Öğeler | 单位 Birim | 指标 Endeksler | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Hacim % | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | hacim.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | hacim.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩(O2+Ar))≤ | hacim.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | hacim.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | hacim.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | hacim.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | hacim.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Hidrolize edilebilir florür（HF ile ölçülmüştür）≤ | hacim.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | hacim.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Ürün kullanımı:
Nitrojen triflorür, yüksek enerjili kimyasal lazer gazı için bir flor kaynağı olarak ve ayrıca polisilikon, silikon nitrür, tungsten silis vb. ve yarı iletken çip üretiminin LCD paneli.CVD kutusu için temizlik maddesi olarak nitrojen triflorürün kullanılması, perflorokarbonlara kıyasla kirletici emisyonları yaklaşık %90 oranında azaltabilir ve temizleme hızını ve temizleme kapasitesini önemli ölçüde artırabilir.
Paketleme ve depolama:
Nitrojen triflorür, sırasıyla 8L, 40L, 43.3L ve 47L hacimli dikişsiz çelik silindirlere doldurulur;Silindir basıncı 9.0-13.0MPa'dır.Spesifik paketleme özellikleri, kullanıcı ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir ve değiştirilebilir.
