Bor triflorür
Moleküler formül: BF3
Molekül ağırlığı: 67.80
GAZ No.: 7637-07-2
Erime noktası: - 127 ℃
Kaynama noktası: - 100 ℃
Parlama noktası: 4 ℃
Suda çözünürlük: suda çözünür
Ürün tanıtımı
Normal sıcaklık ve basınç altında, bor triklorür 11 (B11Cl3) renksiz, dumanlı, yanıcı, keskin ve asidik kokulu bir gazdır.Su ile karşılaştığında hidrojen klorür ve borik aside ayrışır ve çok fazla ısı açığa çıkarır.Islak havada hidroliz nedeniyle duman üretir ve alkolde hidroklorik asit ve borik asit esterine ayrışır.Bor triklorür 11, güçlü bir reaksiyon kabiliyetine sahiptir ve çeşitli koordinasyon bileşikleri oluşturabilir.Bor triklorür ısıtıldığında cam ve seramik seramikler ile reaksiyona girebildiği gibi, birçok organik madde ile reaksiyona girerek çeşitli organoboron bileşikleri oluşturabilir.Yüksek saflıkta bor triklorür 11, esas olarak (silikon) yarı iletken cihazların imalat sürecinde difüzyon katkısı için kullanılır.Yüksek sıcaklıkta, ayrışma ile üretilen bor safsızlıkları, P-tipi yarı iletkenler oluşturmak için silikona yayılır.Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi ve diğer malzemelerin kuru dağlanması için de kullanılabilir.
Kalite spesifikasyonu
项目Öğeler | 单位Birimler | 指标Dizin |
三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ | Hacim % | 99.9995 |
氧+氩Oksijen+Argon | hacim.ppm | 1 |
氮Nitrojen | hacim.ppm | 4 |
一氧化碳Karbon monoksit | hacim.ppm | 0,5 |
二氧化碳Karbon dioksit | hacim.ppm | 0.2 |
甲烷Metan | hacim.ppm | 0,5 |
总杂质含量Toplam kirlilik içeriği≤ | hacim.ppm | 5 |
金属离子Metal iyon | hacim.ppm | 供需双方商定 |
Arz ve talep anlaşması |
Başvuru
Yüksek saflıkta bor triklorür 11, esas olarak yarı iletken cihazların ve entegre devrelerin imalatında difüzyon katkılama, iyon implantasyonu, kuru dağlama ve diğer işlemlerde kullanılır.Bor triklorür 11 ayrıca yüksek saflıkta bor, organik sentez için katalizörler, silikat ayrışımı için akışlar ve alaşım rafine etmede oksit gidericiler, nitrürler ve karbürler için katkı maddeleri üretmek için de kullanılabilir.