ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์
การแนะนำสินค้า:
ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3) เป็นก๊าซที่ไม่มีสี ไม่มีกลิ่น มีความเสถียรและเป็นสารออกซิแดนท์ที่แรงไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีจุดหลอมเหลว - 206.8 ℃ และจุดเดือด - 129.0 ℃ และไม่ละลายในน้ำในฐานะที่เป็นก๊าซกัดพลาสมาที่ยอดเยี่ยมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์จะถูกย่อยสลายเป็นไอออนฟลูออรีนที่แอคทีฟระหว่างการกัดด้วยพลาสมาเมื่อกัดซิลิกอนและซิลิกอนไนไตรด์ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีอัตราการกัดและการเลือกที่สูงกว่าคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์และส่วนผสมของคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์และออกซิเจน โดยเฉพาะอย่างยิ่งเมื่อความหนาน้อยกว่า 1.5 μ ในการกัดวัสดุวงจรรวมของ m ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีประสิทธิภาพดีเยี่ยม อัตราการกัดและการเลือกสรร ไม่ทิ้งคราบบนพื้นผิวของวัตถุที่สลัก และยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมากอีกด้วย
ดัชนีสินค้า:
| รายการ项目 | 单位 หน่วย | 指标ดัชนี | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | ปริมาตร% | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物ไฮโดรไลซิสฟลูออไรด์ (วัดโดย HF)≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
การใช้ผลิตภัณฑ์:
ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์สามารถใช้เป็นแหล่งฟลูออรีนสำหรับก๊าซเลเซอร์เคมีพลังงานสูง และยังเป็นสารกัดสำหรับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เช่น โพลีซิลิคอน ซิลิคอนไนไตรด์ ทังสเตนซิลิไซด์ ฯลฯ นอกจากนี้ยังสามารถใช้เป็นสารทำความสะอาดสำหรับห้องสะสมไอสารเคมี และแผง LCD ของการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์การใช้ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์เป็นสารทำความสะอาดสำหรับกล่อง CVD สามารถลดการปล่อยมลพิษได้ประมาณ 90% เมื่อเทียบกับเปอร์ฟลูออโรคาร์บอน และเพิ่มความเร็วในการทำความสะอาดและความสามารถในการทำความสะอาดได้อย่างมาก
บรรจุภัณฑ์และการจัดเก็บ:
ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์บรรจุในกระบอกสูบเหล็กไร้รอยต่อที่มีปริมาตร 8L, 40L, 43.3L และ 47L ตามลำดับความดันกระบอกสูบอยู่ที่ 9.0-13.0MPaข้อกำหนดเฉพาะของบรรจุภัณฑ์สามารถปรับแต่งและเปลี่ยนแปลงได้ตามความต้องการของผู้ใช้
