โบรอนไตรฟลูออไรด์
สูตรโมเลกุล: BF3
น้ำหนักโมเลกุล: 67.80
หมายเลขแก๊ส: 7637-07-2
จุดหลอมเหลว: - 127 ℃
จุดเดือด: - 100 ℃
จุดวาบไฟ: 4 ℃
ความสามารถในการละลายน้ำ: ละลายได้ในน้ำ
การแนะนำสินค้า
ภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ โบรอนไตรคลอไรด์ 11 (B11Cl3) เป็นก๊าซไร้ควันไม่มีสี ไวไฟ มีกลิ่นฉุนและเป็นกรดมันจะสลายตัวเป็นไฮโดรเจนคลอไรด์และกรดบอริกเมื่อเจอกับน้ำ และปล่อยความร้อนจำนวนมากออกมามันสร้างควันเนื่องจากการไฮโดรไลซิสในอากาศเปียก และสลายตัวเป็นกรดไฮโดรคลอริกและเอสเทอร์ของกรดบอริกในแอลกอฮอล์โบรอนไตรคลอไรด์ 11 มีความสามารถในการทำปฏิกิริยาสูงและสามารถสร้างสารประกอบโคออร์ดิเนชันได้หลากหลายโบรอนไตรคลอไรด์สามารถทำปฏิกิริยากับแก้วและเซรามิกเซรามิกเมื่อถูกความร้อน และยังสามารถทำปฏิกิริยากับสารอินทรีย์หลายชนิดเพื่อสร้างสารประกอบออร์กาโนโบรอนต่างๆโบรอนไตรคลอไรด์ 11 ที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการเติมสารเจือปนในกระบวนการผลิตของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ (ซิลิกอน)ที่อุณหภูมิสูง สิ่งเจือปนโบรอนที่เกิดจากการสลายตัวจะกระจายเข้าไปในซิลิกอนเพื่อสร้างสารกึ่งตัวนำชนิด Pนอกจากนี้ยังสามารถใช้สำหรับการกัดแบบแห้งของ Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi และวัสดุอื่นๆ
ข้อกำหนดคุณภาพ
项目รายการ | หน่วย | 指标ดัชนี |
三氯化硼11 โบรอน11 ไตรคลอไรด์≥ | ปริมาตร% | 99.9995 |
氧+氩ออกซิเจน+อาร์กอน | Vol.ppm | 1 |
ไนโตรเจน | Vol.ppm | 4 |
一氧化碳คาร์บอนมอนอกไซด์ | Vol.ppm | 0.5 |
二氧化碳คาร์บอนไดออกไซด์ | Vol.ppm | 0.2 |
甲烷มีเทน | Vol.ppm | 0.5 |
总杂质含量ปริมาณสิ่งเจือปนทั้งหมด≤ | Vol.ppm | 5 |
金属离子โลหะไอออน | Vol.ppm | 供需双方商定 |
ข้อตกลงอุปสงค์และอุปทาน |
แอปพลิเคชัน
โบรอนไตรคลอไรด์ 11 ที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่จะใช้ในการฉีดสารกระตุ้น การฝังไอออน การกัดแบบแห้ง และกระบวนการอื่นๆ ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวมโบรอนไตรคลอไรด์ 11 ยังสามารถใช้ในการผลิตโบรอนที่มีความบริสุทธิ์สูง ตัวเร่งปฏิกิริยาสำหรับการสังเคราะห์สารอินทรีย์ ฟลักซ์สำหรับการสลายตัวของซิลิเกต และสารเติมแต่งสำหรับสารกำจัดออกซิไดเซอร์ ไนไตรด์และคาร์ไบด์ในการกลั่นโลหะผสม