Трифторид азота
Внедрение продукции:
Трифторид азота (NF3) представляет собой бесцветный стабильный газ без запаха и сильный окислитель.Трифторид азота имеет температуру плавления - 206,8 ℃ и точку кипения - 129,0 ℃ и нерастворим в воде.Являясь превосходным газом для плазменного травления в микроэлектронной промышленности, трифторид азота разлагается на активные ионы фтора во время плазменного травления.При травлении кремния и нитрида кремния трифторид азота имеет более высокую скорость травления и селективность, чем четырехфтористый углерод и смесь четырехфтористого углерода и кислорода, особенно когда толщина составляет менее 1,5 мкм. При травлении материалов интегральных схем m трифторид азота имеет превосходные скорость травления и селективность, не оставляя следов на поверхности протравленного объекта, а также является очень хорошим чистящим средством.
Индекс продукта:
| 项目 Предметы | 单位 Единица | 指标 Индексы | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | об.% | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99,996 |
| 四氟化碳(CF4)≤ | Объемные части на миллион | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Объемные части на миллион | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Объемные части на миллион | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳(CO)≤ | Объемные части на миллион | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳(CO2)≤ | Объемные части на миллион | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Объемные части на миллион | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Объемные части на миллион | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Гидролизуемый фторид (измерено с помощью HF)≤ | Объемные части на миллион | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Объемные части на миллион | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Использование продукта:
Трифторид азота можно использовать в качестве источника фтора для высокоэнергетического химического лазерного газа, а также в качестве травителя для полупроводниковых материалов, таких как поликремний, нитрид кремния, силицид вольфрама и т. д. Его также можно использовать в качестве чистящего средства для камеры химического осаждения из паровой фазы. и ЖК-панели производства полупроводниковых чипов.Использование трифторида азота в качестве чистящего средства для камеры CVD может снизить выбросы загрязняющих веществ примерно на 90% по сравнению с перфторуглеродами и значительно повысить скорость очистки и эффективность очистки.
Упаковка и хранение:
Трифторид азота заливается в бесшовные стальные баллоны объемом 8 л, 40 л, 43,3 л и 47 л соответственно;Давление в баллоне 9,0-13,0 МПа.Конкретные спецификации упаковки могут быть настроены и изменены в соответствии с потребностями пользователя.
