трехфтористый бор
Молекулярная формула: BF3
Молекулярная масса: 67,80
ГАЗ №: 7637-07-2
Температура плавления: - 127 ℃
Температура кипения: - 100 ℃
Температура вспышки: 4 ℃
Растворимость в воде: растворим в воде
Внедрение продукции
При нормальной температуре и давлении треххлористый бор 11 (B11Cl3) представляет собой бесцветный дымный газ, легковоспламеняющийся, с резким запахом кислоты.Он разлагается на хлористый водород и борную кислоту, когда встречается с водой, и выделяет много тепла.Он образует дым из-за гидролиза во влажном воздухе и разлагается на соляную кислоту и эфир борной кислоты в спирте.Треххлористый бор 11 обладает сильной реакционной способностью и может образовывать различные координационные соединения.Треххлористый бор может реагировать со стеклом и керамической керамикой при нагревании, а также может реагировать со многими органическими веществами с образованием различных борорганических соединений.Высокочистый трихлорид бора 11 в основном используется для диффузионного легирования в процессе производства (кремниевых) полупроводниковых приборов.При высокой температуре примеси бора, образующиеся при разложении, диффундируют в кремний с образованием полупроводников P-типа.Его также можно использовать для сухого травления Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi и других материалов.
Спецификация качества
| 项目Предметы | 单位Единицы | 指标Индекс |
| 三氯化硼11 Бор11 Трихлорид≥ | об.% | 99,9995 |
| 氧+氩Кислород+Аргон | Объемные части на миллион | 1 |
| 氮Азот | Объемные части на миллион | 4 |
| 一氧化碳Угарный газ | Объемные части на миллион | 0,5 |
| 二氧化碳Углекислый газ | Объемные части на миллион | 0,2 |
| 甲烷Метан | Объемные части на миллион | 0,5 |
| 总杂质含量Общее содержание примесей≤ | Объемные части на миллион | 5 |
| 金属离子Ион металла | Объемные части на миллион | 供需双方商定 |
| Соглашение о спросе и предложении |
Приложение
Трихлорид бора высокой чистоты 11 в основном используется в диффузионном легировании, ионной имплантации, сухом травлении и других процессах при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.Треххлористый бор 11 также может быть использован для получения высокочистого бора, катализаторов органического синтеза, флюсов для разложения силикатов, добавок для раскислителей, нитридов и карбидов при рафинировании сплавов.
