Trifluoreto de nitrogênio
Introdução do produto:
O trifluoreto de nitrogênio (NF3) é um gás incolor, inodoro, estável e um forte oxidante.O trifluoreto de nitrogênio tem um ponto de fusão de -206,8 ℃ e um ponto de ebulição de -129,0 ℃ e é insolúvel em água.Como um excelente gás de gravação de plasma na indústria de microeletrônica, o trifluoreto de nitrogênio é decomposto em íons de flúor ativos durante a gravação de plasma.Ao gravar silício e nitreto de silício, o trifluoreto de nitrogênio tem uma taxa de corrosão e seletividade mais altas do que o tetrafluoreto de carbono e a mistura de tetrafluoreto de carbono e oxigênio, especialmente quando a espessura é inferior a 1,5 μ. taxa de corrosão e seletividade, não deixando resíduos na superfície do objeto gravado, e também é um agente de limpeza muito bom.
Índice do produto:
| 项目 Itens | 单位 Unidade | 指标 Índices | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Vol.% | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳 (CO)≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳 (CO2)≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Flúor hidrolisável (medido por HF)≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Uso do produto:
O trifluoreto de nitrogênio pode ser usado como fonte de flúor para gás de laser químico de alta energia e também como agente decapante para materiais semicondutores, como polissilício, nitreto de silício, siliceto de tungstênio, etc. Também pode ser usado como agente de limpeza para câmara de deposição de vapor químico e painel LCD de produção de chips semicondutores.O uso de trifluoreto de nitrogênio como agente de limpeza para a caixa CVD pode reduzir as emissões de poluentes em cerca de 90% em comparação com os perfluorcarbonos e melhorar significativamente a velocidade e a capacidade de limpeza.
Embalagem e armazenamento:
Trifluoreto de nitrogênio é preenchido em cilindros de aço sem costura com o volume de 8L, 40L, 43,3L e 47L, respectivamente;A pressão do cilindro é de 9,0-13,0 MPa.As especificações específicas da embalagem podem ser personalizadas e alteradas de acordo com as necessidades do usuário.
