trifluoreto de boro
Fórmula molecular: BF3
Peso molecular: 67,80
Nº GÁS: 7637-07-2
Ponto de fusão: - 127 ℃
Ponto de ebulição: - 100 ℃
Ponto de inflamação: 4 ℃
Solubilidade em água: solúvel em água
Introdução do produto
Sob condições normais de temperatura e pressão, o tricloreto de boro 11 (B11Cl3) é um gás incolor, fumegante, inflamável, de odor pungente e ácido.Ele se decompõe em cloreto de hidrogênio e ácido bórico quando encontra a água e libera muito calor.Gera fumaça devido à hidrólise no ar úmido e se decompõe em ácido clorídrico e éster de ácido bórico em álcool.O tricloreto de boro 11 tem uma forte capacidade de reação e pode formar uma variedade de compostos de coordenação.O tricloreto de boro pode reagir com vidro e cerâmica quando aquecido, e também pode reagir com muitas substâncias orgânicas para formar vários compostos de organoboro.O tricloreto de boro 11 de alta pureza é usado principalmente para dopagem por difusão no processo de fabricação de dispositivos semicondutores (silício).Em alta temperatura, as impurezas de boro geradas pela decomposição se difundem no silício para formar semicondutores do tipo P.Também pode ser usado para corrosão seca de Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi e outros materiais.
especificação de qualidade
项目Itens | 单位Units | 指标Índice |
三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ | Vol.% | 99.9995 |
氧+氩Oxygen+Argon | Vol.ppm | 1 |
氮Nitrogen | Vol.ppm | 4 |
一氧化碳Monóxido de carbono | Vol.ppm | 0,5 |
二氧化碳Dióxido de carbono | Vol.ppm | 0,2 |
甲烷Metano | Vol.ppm | 0,5 |
总杂质含量Conteúdo total de impurezas≤ | Vol.ppm | 5 |
金属离子Metal ion | Vol.ppm | 供需双方商定 |
Acordo de oferta e demanda |
Aplicativo
O tricloreto de boro 11 de alta pureza é usado principalmente em dopagem por difusão, implantação de íons, corrosão seca e outros processos na fabricação de dispositivos semicondutores e circuitos integrados.O tricloreto de boro 11 também pode ser usado para produzir boro de alta pureza, catalisadores para síntese orgânica, fluxos para decomposição de silicato e aditivos para desoxidantes, nitretos e carbonetos no refino de ligas.