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trifluoreto de boro

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    Fórmula molecular: BF3

    Peso molecular: 67,80

    Nº GÁS: 7637-07-2

    Ponto de fusão: - 127 ℃

    Ponto de ebulição: - 100 ℃

    Ponto de inflamação: 4 ℃

    Solubilidade em água: solúvel em água

    Introdução do produto

    Sob condições normais de temperatura e pressão, o tricloreto de boro 11 (B11Cl3) é um gás incolor, fumegante, inflamável, de odor pungente e ácido.Ele se decompõe em cloreto de hidrogênio e ácido bórico quando encontra a água e libera muito calor.Gera fumaça devido à hidrólise no ar úmido e se decompõe em ácido clorídrico e éster de ácido bórico em álcool.O tricloreto de boro 11 tem uma forte capacidade de reação e pode formar uma variedade de compostos de coordenação.O tricloreto de boro pode reagir com vidro e cerâmica quando aquecido, e também pode reagir com muitas substâncias orgânicas para formar vários compostos de organoboro.O tricloreto de boro 11 de alta pureza é usado principalmente para dopagem por difusão no processo de fabricação de dispositivos semicondutores (silício).Em alta temperatura, as impurezas de boro geradas pela decomposição se difundem no silício para formar semicondutores do tipo P.Também pode ser usado para corrosão seca de Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi e outros materiais.

    especificação de qualidade

     

    项目Itens 单位Units 指标Índice
    三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ Vol.% 99.9995
    氧+氩Oxygen+Argon Vol.ppm 1
    氮Nitrogen Vol.ppm 4
    一氧化碳Monóxido de carbono Vol.ppm 0,5
    二氧化碳Dióxido de carbono Vol.ppm 0,2
    甲烷Metano Vol.ppm 0,5
    总杂质含量Conteúdo total de impurezas≤ Vol.ppm 5
    金属离子Metal ion Vol.ppm 供需双方商定
    Acordo de oferta e demanda

     

     

    Aplicativo

    O tricloreto de boro 11 de alta pureza é usado principalmente em dopagem por difusão, implantação de íons, corrosão seca e outros processos na fabricação de dispositivos semicondutores e circuitos integrados.O tricloreto de boro 11 também pode ser usado para produzir boro de alta pureza, catalisadores para síntese orgânica, fluxos para decomposição de silicato e aditivos para desoxidantes, nitretos e carbonetos no refino de ligas.


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