Stikstof trifluoride
Product Introductie:
Stikstoftrifluoride (NF3) is een kleurloos, reukloos, stabiel gas en een sterk oxidatiemiddel.Stikstoftrifluoride heeft een smeltpunt van - 206,8 ℃ en een kookpunt van - 129,0 ℃ en is onoplosbaar in water.Als uitstekend plasma-etsgas in de micro-elektronica-industrie wordt stikstoftrifluoride tijdens het plasma-etsen ontleed in actieve fluorionen.Bij het etsen van silicium en siliciumnitride heeft stikstoftrifluoride een hogere etssnelheid en selectiviteit dan koolstoftetrafluoride en het mengsel van koolstoftetrafluoride en zuurstof, vooral wanneer de dikte minder is dan 1,5 μ. Bij het etsen van m's geïntegreerde circuitmaterialen heeft stikstoftrifluoride een uitstekende etssnelheid en selectiviteit, laat geen residu achter op het oppervlak van het geëtste object en is ook een zeer goed reinigingsmiddel.
Productindex:
| 项目 Items | Een eenheid | Meer indexen | ||||
| van het type （NF3）≥ | Vol.% | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| ≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| zuurstof (O2+Ar)）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| van de lucht (CO2) ≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| waterdamp (N2O) ≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 3D-weergave (SF6) ≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| Hydrolyseerbare fluoride (gemeten door HF) ≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Productgebruik:
Stikstoftrifluoride kan worden gebruikt als fluorbron voor hoogenergetisch chemisch lasergas, en ook als etsmiddel voor halfgeleidermaterialen zoals polysilicium, siliciumnitride, wolfraamsilicide, enz. Het kan ook worden gebruikt als reinigingsmiddel voor een chemische dampafzettingskamer en LCD-paneel voor de productie van halfgeleiderchips.Het gebruik van stikstoftrifluoride als reinigingsmiddel voor CVD-boxen kan de uitstoot van verontreinigende stoffen met ongeveer 90% verminderen in vergelijking met perfluorkoolwaterstoffen, en de reinigingssnelheid en reinigingscapaciteit aanzienlijk verbeteren.
Verpakking en opslag:
Stikstoftrifluoride is gevuld in naadloze stalen cilinders met een volume van respectievelijk 8L, 40L, 43.3L en 47L;De cilinderdruk is 9.0-13.0MPa.De specifieke verpakkingsspecificaties kunnen worden aangepast en gewijzigd volgens de behoeften van de gebruiker.
