Boor trifluoride
Molecuulformule: BF3
Molecuulgewicht: 67,80
GAS-nr.: 7637-07-2
Smeltpunt: - 127 ℃
Kookpunt: - 100 ℃
Vlampunt: 4 ℃
Oplosbaarheid in water: oplosbaar in water
Product Introductie
Bij normale temperatuur en druk is boortrichloride 11 (B11Cl3) een kleurloos rookgas, brandbaar, doordringend en zuurgeur.Het ontleedt in waterstofchloride en boorzuur wanneer het water ontmoet en geeft veel warmte af.Het genereert rook als gevolg van hydrolyse in natte lucht en valt uiteen in zoutzuur en boorzuurester in alcohol.Boortrichloride 11 heeft een sterk reactievermogen en kan een verscheidenheid aan coördinatieverbindingen vormen.Boortrichloride kan bij verhitting reageren met glas en keramisch keramiek, en kan ook reageren met veel organische stoffen om verschillende organoboorverbindingen te vormen.Hoogzuiver boortrichloride 11 wordt voornamelijk gebruikt voor diffusiedotering in het fabricageproces van (silicium) halfgeleidercomponenten.Bij hoge temperatuur diffunderen booronzuiverheden die door ontleding worden gegenereerd in silicium om P-type halfgeleiders te vormen.Het kan ook worden gebruikt voor het droogetsen van Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi en andere materialen.
Kwaliteitsspecificatie
| Artikelen | 单位Eenheden | 指标Index |
| Gebruik 11 Boron11 Trichloride≥ | Vol.% | 99,9995 |
| 氧+氩Zuurstof+Argon | Vol.ppm | 1 |
| 'Stikstof | Vol.ppm | 4 |
| Lees meer over koolmonoxide | Vol.ppm | 0,5 |
| Zie ook Kooldioxide | Vol.ppm | 0.2 |
| 甲烷Methaan | Vol.ppm | 0,5 |
| 总杂质含量Totaal gehalte aan onzuiverheden≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子Metaalion | Vol.ppm | de beste manier om te werken |
| Vraag en aanbod overeenkomst |
Sollicitatie
Hoogzuiver boortrichloride 11 wordt voornamelijk gebruikt bij diffusiedoping, ionenimplantatie, droogetsen en andere processen bij de vervaardiging van halfgeleiderapparaten en geïntegreerde schakelingen.Boortrichloride 11 kan ook worden gebruikt voor de productie van zeer zuiver boor, katalysatoren voor organische synthese, fluxen voor silicaatontleding en additieven voor deoxidatiemiddelen, nitriden en carbiden bij het raffineren van legeringen.
