နိုက်ထရိုဂျင် trifluoride
ထုတ်ကုန်မိတ်ဆက်-
နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက် (NF3) သည် အရောင်မဲ့၊ အနံ့မရှိ၊ တည်ငြိမ်သောဓာတ်ငွေ့နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက်တွင် အရည်ပျော်မှတ် - 206.8 ℃ နှင့် ဆူမှတ် - 129.0 ℃ ရှိပြီး ရေတွင် မပျော်ဝင်ပါ။မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် ကောင်းမွန်သော ပလာစမာ ထုတ်ယူသည့်ဓာတ်ငွေ့အဖြစ်၊ နိုက်ထရိုဂျင်ထရိုဖလိုရိုက်သည် ပလာစမာ etching လုပ်နေစဉ်တွင် တက်ကြွသော ဖလိုရင်းအိုင်းယွန်းအဖြစ် ပြိုကွဲသွားပါသည်။ဆီလီကွန်နှင့် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်ကို ထွင်းထုသည့်အခါ၊ နိုက်ထရိုဂျင်ထရိုဖလိုရိုက်သည် ကာဗွန်တက်ထရာဖလိုရိုက်နှင့် ကာဗွန်တက်ထရာဖလိုရိုက်နှင့် အောက်ဆီဂျင်တို့ ရောနှောမှုထက် ပိုများပြီး ရွေးချယ်နိုင်မှုရှိသည်။ အထူးသဖြင့် အထူမှာ 1.5 µ ထက်နည်းသောအခါ၊ အထူးသဖြင့် m ၏ ပေါင်းစပ်ပတ်လမ်းပစ္စည်းများကို ထွင်းထုရာတွင် နိုက်ထရိုဖလိုရိုက်သည် အထူးကောင်းမွန်ပါသည်။ etching rate နှင့် selectivity သည် etched object ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် အကြွင်းအကျန် မကျန်စေဘဲ အလွန်ကောင်းမွန်သော သန့်စင်ဆေးဖြစ်သည်။
ထုတ်ကုန်အညွှန်း-
| 项目 ပစ္စည်းများ | 单位 ယူနစ် | 指标 အညွှန်းများ | ||||
| 三氟化氮 (NF3)≥ | Vol.% | ၉၉.၅ | ၉၉.၉ | ၉၉.၉၈ | 99.99 | ၉၉,၉၉၆ |
| 四氟化碳(CF4)≤ | Vol.ppm | ၁၅၀၀ | ၅၀၀ | ၁၀၀ | 50 | 20 |
| 氮气(N2)≤ | Vol.ppm | ၇၀၀ | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩(O2+Ar))≤ | Vol.ppm | ၇၀၀ | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳 (CO)≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳 (CO2) ≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | ၀.၅ |
| 氧化亚氮 (N2O)≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫(SF6)≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Hydrolyzable ဖလိုရိုက် (HF ဖြင့်တိုင်းတာသည်)≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水(H2O)≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
ထုတ်ကုန်အသုံးပြုမှု-
နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက်ကို စွမ်းအင်မြင့်ဓာတုလေဆာဓာတ်ငွေ့အတွက် ဖလိုရင်းရင်းမြစ်အဖြစ် အသုံးပြုနိုင်သည့်အပြင် ပိုလီဆီလီကွန်၊ ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ်၊ တန်စတင်ဆီသတ်ဆေးစသည်ဖြင့် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်သည့်အခန်းအတွက် သန့်စင်ဆေးအဖြစ်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ခြင်း၏ LCD panel နှင့်။CVD သေတ္တာအတွက် သန့်စင်ရေးအေးဂျင့်အဖြစ် နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက်ကို အသုံးပြုခြင်းသည် perfluorocarbons များနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ညစ်ညမ်းသောထုတ်လွှတ်မှု 90% ခန့်ကို လျှော့ချနိုင်ပြီး သန့်ရှင်းရေးအမြန်နှုန်းနှင့် သန့်ရှင်းရေးစွမ်းရည်ကို သိသိသာသာ တိုးတက်စေသည်။
ထုပ်ပိုးမှုနှင့် သိုလှောင်မှု-
နိုက်ထရိုဂျင်ထရီဖလိုရိုက်ကို 8L၊ 40L၊ 43.3L နှင့် 47L အသီးသီးရှိသော ချောမွေ့သောသံမဏိဆလင်ဒါများတွင် ဖြည့်ထားသည်။ဆလင်ဒါဖိအားသည် 9.0-13.0MPa ဖြစ်သည်။သီးသန့်ထုပ်ပိုးမှုသတ်မှတ်ချက်များကို သုံးစွဲသူ၏လိုအပ်ချက်အရ စိတ်ကြိုက်ပြောင်းလဲနိုင်သည်။
