삼불화붕소
분자식: BF3
분자량: 67.80
가스 번호: 7637-07-2
녹는점: - 127℃
끓는점: -100℃
인화점: 4℃
수용성: 물에 용해
제품 소개
상온 및 상압에서 삼염화붕소 11(B11Cl3)은 무색의 스모키 가스이며 인화성, 자극성 및 산성 냄새가 납니다.물과 만나면 염화수소와 붕산으로 분해되며 많은 열을 방출한다.습한 공기 중에서 가수분해되어 연기를 발생시키며, 알코올에서는 염산과 붕산에스테르로 분해된다.삼염화 붕소 11은 강한 반응 능력을 가지고 있으며 다양한 배위 화합물을 형성할 수 있습니다.삼염화붕소는 가열되면 유리 및 세라믹 세라믹과 반응할 수 있으며, 또한 많은 유기 물질과 반응하여 다양한 유기 붕소 화합물을 형성할 수 있습니다.고순도 삼염화붕소(11)는 주로 (실리콘)반도체 소자 제조 공정에서 확산 도핑에 사용된다.고온에서는 분해에 의해 생성된 붕소 불순물이 실리콘으로 확산되어 P형 반도체를 형성합니다.Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi 및 기타 재료의 건식 에칭에도 사용할 수 있습니다.
품질 사양
| 项目아이템 | 单位단위 | 指标Index |
| 三氯化硼11 붕소11 삼염화물≥ | 볼륨% | 99.9995 |
| 氧+氩산소+아르곤 | Vol.ppm | 1 |
| 氮질소 | Vol.ppm | 4 |
| 一氧化碳일산화탄소 | Vol.ppm | 0.5 |
| 二氧化碳이산화탄소 | Vol.ppm | 0.2 |
| 甲烷메탄 | Vol.ppm | 0.5 |
| 总杂质含量총 불순물 함량≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子 금속이온 | Vol.ppm | 供需双方商定 |
| 수요와 공급 계약 |
애플리케이션
고순도 삼염화붕소(11)는 주로 반도체 장치 및 집적 회로 제조 시 확산 도핑, 이온 주입, 건식 에칭 및 기타 공정에 사용됩니다.삼염화붕소 11은 또한 고순도 붕소, 유기 합성용 촉매, 규산염 분해용 플럭스, 합금 정제 시 탈산제, 질화물 및 탄화물용 첨가제를 생산하는 데 사용할 수 있습니다.
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