製品

商品名：酸素

CAS ： 7782-44-7

英語名 オキシ

液体酸素 - 使用

高純度酸素ガスは、主に半導体デバイスの熱酸化、拡散、化学蒸着、プラズマエッチングなどのプロセスに使用されます。光ファイバーやカラー受像管の製造用、標準ガス、補正ガス、ゼロガスとしても使用できます。酸化源や高純度水を製造するための試薬として使用されます。MOS 電界効果デバイスの場合、酸化物層は非常に緻密でなければなりません。高純度酸素によるドライ酸化は、コンパクトな構造、少ない正電荷、高耐電圧で製造要件を満たします。四フッ化炭素と混合してプラズマエッチングに使用できます。

液体酸素 - 安全性

可燃性の圧縮ガスであり、毒性はありません。しかし、高濃度酸素への曝露は肺や中枢神経系に悪影響を及ぼします。すべての可燃性物質、特にオイルとグリースは、高濃度の酸素と接触してはなりません。考えられる発火源はすべて閉じるか、排気する必要があります。涼しい場所に置くものとする。酸、アルカリ、グリース、引火性・爆発性物質、高温の熱源、電気火花などに近づくことを禁止し、衝突を避けてください。