製品

分子式: BF3

分子量：67.80

ガス番号：7637-07-2

融点：-127℃

沸点：-100℃

引火点：4℃

水溶性：水に溶ける

製品導入

常温常圧下では、三塩化ホウ素 11 (B11Cl3) は無色の煙状のガスで、可燃性、刺激性、酸性の臭気があります。水と接触すると塩化水素とホウ酸に分解し、多量の熱を放出します。湿った空気中では加水分解により発煙し、アルコール中では塩酸とホウ酸エステルに分解します。三塩化ホウ素 11 は強い反応能力を持ち、さまざまな配位化合物を形成することができます。三塩化ホウ素は、加熱するとガラスやセラミックと反応することができ、また多くの有機物質と反応してさまざまな有機ホウ素化合物を形成することもできます。高純度の三塩化ホウ素 11 は、主に半導体デバイス（シリコン）の製造プロセスにおける拡散ドーピングに使用されます。高温では、分解によって生成されたボロン不純物がシリコン中に拡散し、P 型半導体を形成します。Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSiなどのドライエッチングにも使用できます。

品質仕様書

応用

高純度三塩化ホウ素 11 は、主に半導体デバイスや集積回路の製造における拡散ドーピング、イオン注入、ドライエッチングなどのプロセスに使用されます。三塩化ホウ素 11 は、高純度ホウ素、有機合成用の触媒、ケイ酸塩分解用のフラックス、合金精製における脱酸剤、窒化物、炭化物の添加剤の製造にも使用できます。