Trifluoruro di azoto
Introduzione al prodotto:
Il trifluoruro di azoto (NF3) è un gas incolore, inodore, stabile e un forte ossidante.Il trifluoruro di azoto ha un punto di fusione di -206,8 ℃ e un punto di ebollizione di -129,0 ℃ ed è insolubile in acqua.Essendo un eccellente gas di attacco al plasma nell'industria microelettronica, il trifluoruro di azoto viene decomposto in ioni fluoro attivi durante l'attacco al plasma.Quando si incide silicio e nitruro di silicio, il trifluoruro di azoto ha una velocità di attacco e una selettività più elevate rispetto al tetrafluoruro di carbonio e alla miscela di tetrafluoruro di carbonio e ossigeno, specialmente quando lo spessore è inferiore a 1,5 μ Nell'incisione dei materiali del circuito integrato di m, il trifluoruro di azoto ha un'eccellente velocità di incisione e selettività, senza lasciare residui sulla superficie dell'oggetto inciso, ed è anche un ottimo detergente.
Indice prodotto:
| 项目 Articoli | 单位 Unità | 指标 Indici | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Vol.% | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Fluoruro idrolizzabile (misurato con HF) ≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Uso del prodotto:
Il trifluoruro di azoto può essere utilizzato come fonte di fluoro per gas laser chimico ad alta energia e anche come agente di attacco per materiali semiconduttori come polisilicio, nitruro di silicio, siliciuro di tungsteno, ecc. Può essere utilizzato anche come detergente per camera di deposizione di vapori chimici e pannello LCD di produzione di chip a semiconduttore.L'uso del trifluoruro di azoto come detergente per la scatola CVD può ridurre le emissioni inquinanti di circa il 90% rispetto ai perfluorocarburi e migliorare significativamente la velocità e la capacità di pulizia.
Imballaggio e stoccaggio:
Il trifluoruro di azoto viene riempito in bombole di acciaio senza saldatura con un volume rispettivamente di 8L, 40L, 43,3L e 47L;La pressione della bombola è di 9,0-13,0 MPa.Le specifiche di imballaggio specifiche possono essere personalizzate e modificate in base alle esigenze dell'utente.
