Trifluoruro di boro
Formula molecolare: BF3
Peso molecolare: 67,80
N. GAS: 7637-07-2
Punto di fusione: - 127 ℃
Punto di ebollizione: - 100 ℃
Punto di infiammabilità: 4 ℃
Idrosolubilità: solubile in acqua
Introduzione al prodotto
A temperatura e pressione normali, il tricloruro di boro 11 (B11Cl3) è un gas fumoso incolore, infiammabile, dall'odore pungente e acido.Si decompone in acido cloridrico e acido borico quando incontra l'acqua e rilascia molto calore.Genera fumo a causa dell'idrolisi nell'aria umida e si decompone in acido cloridrico ed estere di acido borico in alcool.Il tricloruro di boro 11 ha una forte capacità di reazione e può formare una varietà di composti di coordinazione.Il tricloruro di boro può reagire con il vetro e le ceramiche ceramiche quando riscaldato e può anche reagire con molte sostanze organiche per formare vari composti organoboro.Il tricloruro di boro 11 ad alta purezza viene utilizzato principalmente per il drogaggio per diffusione nel processo di fabbricazione di dispositivi a semiconduttore (silicio).Ad alta temperatura, le impurità di boro generate dalla decomposizione si diffondono nel silicio per formare semiconduttori di tipo P.Può essere utilizzato anche per l'incisione a secco di Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi e altri materiali.
Specifica di qualità
项目Items | 单位Unità | 指标Indice |
三氯化硼11 Boro11 Tricloruro≥ | Vol.% | 99,9995 |
氧+氩Ossigeno+Argon | Vol.ppm | 1 |
氮Azoto | Vol.ppm | 4 |
一氧化碳Monossido di carbonio | Vol.ppm | 0,5 |
二氧化碳Anidride carbonica | Vol.ppm | 0.2 |
甲烷 Metano | Vol.ppm | 0,5 |
总杂质含量Contenuto totale di impurità≤ | Vol.ppm | 5 |
金属离子Ioni di metallo | Vol.ppm | cina fornitore |
Accordo di domanda e offerta |
Applicazione
Il tricloruro di boro 11 ad alta purezza viene utilizzato principalmente nel drogaggio per diffusione, nell'impianto di ioni, nell'incisione a secco e in altri processi nella produzione di dispositivi a semiconduttore e circuiti integrati.Il tricloruro di boro 11 può anche essere utilizzato per produrre boro di elevata purezza, catalizzatori per la sintesi organica, flussi per la decomposizione dei silicati e additivi per disossidanti, nitruri e carburi nella raffinazione delle leghe.