नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड
उत्पाद परिचय:
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) एक रंगहीन, गंधहीन, स्थिर गैस और एक मजबूत ऑक्सीडेंट है।नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का गलनांक - 206.8 ℃ और क्वथनांक - 129.0 ℃ है, और यह पानी में अघुलनशील है।माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में एक उत्कृष्ट प्लाज्मा नक़्क़ाशी गैस के रूप में, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड प्लाज्मा नक़्क़ाशी के दौरान सक्रिय फ्लोरीन आयनों में विघटित हो जाता है।सिलिकॉन और सिलिकॉन नाइट्राइड नक़्क़ाशी करते समय, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड में कार्बन टेट्राफ्लोराइड और कार्बन टेट्राफ्लोराइड और ऑक्सीजन के मिश्रण की तुलना में उच्च नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता होती है, खासकर जब मोटाई 1.5 μ से कम होती है, m की एकीकृत सर्किट सामग्री के नक़्क़ाशी में, नाइट्रोजन ट्राइफ़्लोराइड में उत्कृष्ट होता है नक़्क़ाशी दर और चयनात्मकता, नक़्क़ाशीदार वस्तु की सतह पर कोई अवशेष नहीं छोड़ता है, और यह एक बहुत अच्छा सफाई एजेंट भी है।
उत्पाद सूचकांक:
| 项目 आइटम | 单位 इकाई | सूचकांक | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | खंड% | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.पीपीएम | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气 (N2) ≤ | Vol.पीपीएम | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.पीपीएम | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳 (सीओ) ≤ | Vol.पीपीएम | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.पीपीएम | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
| 氧化亚氮 (N2O) ≤ | Vol.पीपीएम | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.पीपीएम | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| हाइड्रोलाइज़ेबल फ्लोराइड (एचएफ द्वारा मापा गया) ≤ | Vol.पीपीएम | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| पानी (H2O) ≤ | Vol.पीपीएम | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
उत्पाद का उपयोग:
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग उच्च-ऊर्जा रासायनिक लेजर गैस के लिए फ्लोरीन स्रोत के रूप में किया जा सकता है, और सेमीकंडक्टर सामग्री जैसे पॉलीसिलिकॉन, सिलिकॉन नाइट्राइड, टंगस्टन सिलिसाइड आदि के लिए एक एचेंट के रूप में भी किया जा सकता है। इसे रासायनिक वाष्प जमाव कक्ष के लिए सफाई एजेंट के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है। और अर्धचालक चिप उत्पादन के एलसीडी पैनल।सीवीडी बॉक्स के लिए सफाई एजेंट के रूप में नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड का उपयोग करने से पेरफ्लोरोकार्बन की तुलना में प्रदूषक उत्सर्जन लगभग 90% कम हो सकता है, और सफाई की गति और सफाई क्षमता में काफी सुधार हो सकता है।
पैकेजिंग और भंडारण:
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड क्रमशः 8L, 40L, 43.3L और 47L की मात्रा के साथ सीमलेस स्टील सिलेंडरों में भरा जाता है;सिलेंडर का दबाव 9.0-13.0MPa है।विशिष्ट पैकेजिंग विनिर्देशों को उपयोगकर्ता की जरूरतों के अनुसार अनुकूलित और बदला जा सकता है।
