Trifluorure d'azote
Présentation du produit:
Le trifluorure d'azote (NF3) est un gaz incolore, inodore, stable et un oxydant puissant.Le trifluorure d'azote a un point de fusion de - 206,8 ℃ et un point d'ébullition de - 129,0 ℃, et est insoluble dans l'eau.En tant qu'excellent gaz de gravure au plasma dans l'industrie de la microélectronique, le trifluorure d'azote est décomposé en ions fluor actifs lors de la gravure au plasma.Lors de la gravure du silicium et du nitrure de silicium, le trifluorure d'azote a une vitesse de gravure et une sélectivité plus élevées que le tétrafluorure de carbone et le mélange de tétrafluorure de carbone et d'oxygène, en particulier lorsque l'épaisseur est inférieure à 1,5 μ. Dans la gravure des matériaux de circuits intégrés de m, le trifluorure d'azote a une excellente taux de gravure et sélectivité, ne laissant aucun résidu sur la surface de l'objet gravé, et est également un très bon agent de nettoyage.
Index des produits :
| 项目 Articles | Unité de 单位 | 指标 Index | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Vol. % | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Fluorure hydrolysable（Mesuré par HF）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Utilisation du produit:
Le trifluorure d'azote peut être utilisé comme source de fluor pour le gaz laser chimique à haute énergie, et également comme agent de gravure pour les matériaux semi-conducteurs tels que le polysilicium, le nitrure de silicium, le siliciure de tungstène, etc. Il peut également être utilisé comme agent de nettoyage pour chambre de dépôt chimique en phase vapeur et panneau LCD de production de puces semi-conductrices.L'utilisation de trifluorure d'azote comme agent de nettoyage pour la boîte CVD peut réduire les émissions de polluants d'environ 90 % par rapport aux perfluorocarbures et améliorer considérablement la vitesse et la capacité de nettoyage.
Emballage et stockage :
Le trifluorure d'azote est rempli dans des cylindres en acier sans soudure d'un volume de 8L, 40L, 43,3L et 47L respectivement ;La pression du cylindre est de 9,0 à 13,0 MPa.Les spécifications d'emballage spécifiques peuvent être personnalisées et modifiées en fonction des besoins de l'utilisateur.
