produit

Formule moléculaire : BF3

Poids moléculaire : 67,80

N° GAZ : 7637-07-2

Point de fusion : - 127 ℃

Point d'ébullition : - 100 ℃

Point d'éclair : 4 ℃

Hydrosolubilité: soluble dans l'eau

Présentation du produit

À température et pression normales, le trichlorure de bore 11 (B11Cl3) est un gaz fumé incolore, inflammable, piquant et acide.Il se décompose en chlorure d'hydrogène et en acide borique lorsqu'il rencontre de l'eau et dégage beaucoup de chaleur.Il génère de la fumée en raison de l'hydrolyse dans l'air humide et se décompose en acide chlorhydrique et en ester d'acide borique dans l'alcool.Le trichlorure de bore 11 a une forte capacité de réaction et peut former une variété de composés de coordination.Le trichlorure de bore peut réagir avec le verre et la céramique céramique lorsqu'il est chauffé, et peut également réagir avec de nombreuses substances organiques pour former divers composés organoborés.Le trichlorure de bore de haute pureté 11 est principalement utilisé pour le dopage par diffusion dans le processus de fabrication de dispositifs semi-conducteurs (silicium).A haute température, les impuretés de bore générées par la décomposition diffusent dans le silicium pour former des semi-conducteurs de type P.Il peut également être utilisé pour la gravure sèche d'Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi et d'autres matériaux.

Spécification de qualité

Application

Le trichlorure de bore de haute pureté 11 est principalement utilisé dans le dopage par diffusion, l'implantation ionique, la gravure sèche et d'autres processus dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de circuits intégrés.Le trichlorure de bore 11 peut également être utilisé pour produire du bore de haute pureté, des catalyseurs pour la synthèse organique, des fondants pour la décomposition des silicates et des additifs pour les désoxydants, les nitrures et les carbures dans le raffinage des alliages.