trifluoruro de boro
Fórmula molecular: BF3
Peso molecular: 67,80
Nº GAS: 7637-07-2
Punto de fusión: - 127 ℃
Punto de ebullición: - 100 ℃
Punto de inflamación: 4 ℃
Solubilidad en agua: soluble en agua
Introducción del producto
A temperatura y presión normales, el tricloruro de boro 11 (B11Cl3) es un gas ahumado incoloro, inflamable, de olor acre y ácido.Se descompone en cloruro de hidrógeno y ácido bórico cuando se encuentra con agua y libera mucho calor.Genera humo debido a la hidrólisis en el aire húmedo y se descompone en ácido clorhídrico y éster de ácido bórico en alcohol.El tricloruro de boro 11 tiene una fuerte capacidad de reacción y puede formar una variedad de compuestos de coordinación.El tricloruro de boro puede reaccionar con la cerámica de vidrio y cerámica cuando se calienta, y también puede reaccionar con muchas sustancias orgánicas para formar varios compuestos de organoboro.El tricloruro de boro de alta pureza 11 se utiliza principalmente para el dopaje por difusión en el proceso de fabricación de dispositivos semiconductores (de silicio).A alta temperatura, las impurezas de boro generadas por la descomposición se difunden en silicio para formar semiconductores de tipo P.También se puede utilizar para el grabado en seco de Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi y otros materiales.
Especificación de calidad
| 项目Objetos | Unidades | 指标Índice |
| 三氯化硼11 Boro11 Tricloruro≥ | % vol. | 99.9995 |
| 氧+氩Oxígeno+Argón | Vol.ppm | 1 |
| 氮Nitrógeno | Vol.ppm | 4 |
| 一氧化碳Monóxido de carbono | Vol.ppm | 0.5 |
| Dióxido de carbono | Vol.ppm | 0.2 |
| 甲烷Metano | Vol.ppm | 0.5 |
| 总杂质含量Contenido total de impurezas≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子Ion metálico | Vol.ppm | 供需双方商定 |
| Acuerdo de oferta y demanda |
Solicitud
El tricloruro de boro 11 de alta pureza se utiliza principalmente en el dopaje por difusión, la implantación de iones, el grabado en seco y otros procesos en la fabricación de dispositivos semiconductores y circuitos integrados.El tricloruro de boro 11 también se puede utilizar para producir boro de alta pureza, catalizadores para síntesis orgánica, fundentes para la descomposición de silicatos y aditivos para desoxidantes, nitruros y carburos en el refinado de aleaciones.
