Stickstofftrifluorid
Produkteinführung:
Stickstofftrifluorid (NF3) ist ein farbloses, geruchloses, stabiles Gas und ein starkes Oxidationsmittel.Stickstofftrifluorid hat einen Schmelzpunkt von - 206,8 ℃ und einen Siedepunkt von - 129,0 ℃ und ist in Wasser unlöslich.Als hervorragendes Plasmaätzgas in der Mikroelektronikindustrie wird Stickstofftrifluorid beim Plasmaätzen in aktive Fluorionen zerlegt.Beim Ätzen von Silizium und Siliziumnitrid weist Stickstofftrifluorid eine höhere Ätzrate und Selektivität als Kohlenstofftetrafluorid und die Mischung aus Kohlenstofftetrafluorid und Sauerstoff auf, insbesondere wenn die Dicke weniger als 1,5 μ beträgt. Beim Ätzen von m-Materialien für integrierte Schaltkreise weist Stickstofftrifluorid hervorragende Ergebnisse auf Ätzgeschwindigkeit und -selektivität, hinterlässt keine Rückstände auf der Oberfläche des geätzten Objekts und ist außerdem ein sehr gutes Reinigungsmittel.
Produktindex:
| 项目 Artikel | 单位 Einheit | 指标 Indizes | ||||
| 三氟化氮（NF3）≥ | Vol.% | 99,5 | 99,9 | 99,98 | 99,99 | 99.996 |
| 四氟化碳（CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气（N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧加氩（O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳（CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0,5 |
| 氧化亚氮（N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可水解氟化物Hydrolysierbares Fluorid (gemessen mit HF)≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水（H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
Produktnutzen:
Stickstofftrifluorid kann als Fluorquelle für hochenergetisches chemisches Lasergas und auch als Ätzmittel für Halbleitermaterialien wie Polysilizium, Siliziumnitrid, Wolframsilizid usw. verwendet werden. Es kann auch als Reinigungsmittel für chemische Gasphasenabscheidungskammern verwendet werden und LCD-Panel zur Herstellung von Halbleiterchips.Der Einsatz von Stickstofftrifluorid als Reinigungsmittel für CVD-Boxen kann die Schadstoffemissionen im Vergleich zu Perfluorkohlenstoffen um etwa 90 % reduzieren und die Reinigungsgeschwindigkeit und Reinigungskapazität deutlich verbessern.
Verpackung und Lagerung:
Stickstofftrifluorid wird in nahtlose Stahlflaschen mit einem Volumen von 8 l, 40 l, 43,3 l bzw. 47 l gefüllt;Der Zylinderdruck beträgt 9,0–13,0 MPa.Die spezifischen Verpackungsspezifikationen können je nach Benutzeranforderungen angepasst und geändert werden.
