Bortrifluorid
Summenformel: BF3
Molekulargewicht: 67,80
GAS-Nr.: 7637-07-2
Schmelzpunkt: - 127 ℃
Siedepunkt: - 100 ℃
Flammpunkt: 4 ℃
Wasserlöslichkeit: wasserlöslich
Produkteinführung
Bei normaler Temperatur und normalem Druck ist Bortrichlorid 11 (B11Cl3) ein farbloses Rauchgas, brennbar, stechend und säuerlich riechend.Beim Kontakt mit Wasser zerfällt es in Chlorwasserstoff und Borsäure und setzt dabei viel Wärme frei.Durch Hydrolyse in feuchter Luft entsteht Rauch und zerfällt in Alkohol in Salzsäure und Borsäureester.Bortrichlorid 11 hat eine starke Reaktionsfähigkeit und kann eine Vielzahl von Koordinationsverbindungen bilden.Bortrichlorid kann beim Erhitzen mit Glas und Keramik reagieren und kann auch mit vielen organischen Substanzen unter Bildung verschiedener Organoborverbindungen reagieren.Hochreines Bortrichlorid 11 wird hauptsächlich zur Diffusionsdotierung im Herstellungsprozess von (Silizium-)Halbleiterbauelementen verwendet.Bei hoher Temperatur diffundieren Borverunreinigungen, die durch Zersetzung entstehen, in Silizium und bilden Halbleiter vom P-Typ.Es kann auch zum Trockenätzen von Al, MoSi2, TaSi2, TiSi2, WSi und anderen Materialien verwendet werden.
Qualitätsspezifikation
| 项目Items | 单位Einheiten | Mehr Index |
| 三氯化硼11 Boron11 Trichlorid≥ | Vol.% | 99,9995 |
| 氧+氩Sauerstoff+Argon | Vol.ppm | 1 |
| „Stickstoff | Vol.ppm | 4 |
| 一氧化碳Kohlenmonoxid | Vol.ppm | 0,5 |
| 二氧化碳Kohlendioxid | Vol.ppm | 0,2 |
| 甲烷Methan | Vol.ppm | 0,5 |
| 总杂质含量Gesamtverunreinigungsgehalt≤ | Vol.ppm | 5 |
| 金属离子Metallion | Vol.ppm | 供需双方商定 |
| Angebots- und Nachfragevereinbarung |
Anwendung
Hochreines Bortrichlorid 11 wird hauptsächlich bei der Diffusionsdotierung, Ionenimplantation, Trockenätzung und anderen Prozessen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltkreisen verwendet.Bortrichlorid 11 kann auch zur Herstellung von hochreinem Bor, Katalysatoren für die organische Synthese, Flussmitteln für die Silikatzersetzung und Additiven für Desoxidationsmittel, Nitride und Karbide bei der Legierungsveredelung verwendet werden.
