ثلاثي فلوريد النيتروجين
مقدمة المنتج:
ثلاثي فلوريد النيتروجين (NF3) هو غاز عديم اللون والرائحة ومستقر ومؤكسد قوي.ثلاثي فلوريد النيتروجين لديه نقطة انصهار - 206.8 ℃ ونقطة غليان - 129.0 ℃ ، وهو غير قابل للذوبان في الماء.باعتباره غاز حفر بلازما ممتاز في صناعة الإلكترونيات الدقيقة ، يتحلل ثلاثي فلوريد النيتروجين إلى أيونات فلور نشطة أثناء حفر البلازما.عند نقش السيليكون ونتريد السيليكون ، يكون لثلاثي فلوريد النيتروجين معدل نقش وانتقائية أعلى من رباعي فلوريد الكربون ومزيج من رباعي فلوريد الكربون والأكسجين ، خاصةً عندما تكون السماكة أقل من 1.5 μ في حفر مواد الدوائر المتكاملة في m ، يكون ثلاثي فلوريد النيتروجين ممتازًا معدل الحفر والانتقائية ، دون ترك أي بقايا على سطح الكائن المحفور ، كما أنه عامل تنظيف جيد جدًا.
فهرس المنتج:
| 项目 العناصر | 单位 وحدة | 指标 الفهارس | ||||
| 三 氟化 氮 （NF3） ≥ | الحجم٪ | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| 四氟 化碳 （CF4） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| 氮气 （N2） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| 氧 加 氩 （O2 + Ar）） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| 一氧化碳 （CO） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 二氧化碳 （CO2） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
| 氧化亚氮 （N2O） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| 六氟化硫 （SF6） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
| 可 水解 氟化物 فلوريد التحلل المائي （يقاس بـ HF） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 水 （H2O） ≤ | المجلد. جزء في المليون | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
استخدام المنتج:
يمكن استخدام ثلاثي فلوريد النيتروجين كمصدر للفلور لغاز الليزر الكيميائي عالي الطاقة ، وأيضًا كمخادع لمواد أشباه الموصلات مثل البولي سيليكون ، نيتريد السيليكون ، سليكون التنغستن ، إلخ. ويمكن استخدامه أيضًا كعامل تنظيف لغرفة ترسيب البخار الكيميائي ولوحة LCD لإنتاج رقائق أشباه الموصلات.يمكن أن يؤدي استخدام ثلاثي فلوريد النيتروجين كعامل تنظيف لصندوق CVD إلى تقليل انبعاثات الملوثات بنسبة 90٪ تقريبًا مقارنة بمركبات الكربون المشبعة بالفلور ، وتحسين سرعة التنظيف وقدرة التنظيف بشكل كبير.
التعبئة والتغليف والتخزين:
يتم تعبئة ثلاثي فلوريد النيتروجين في أسطوانات فولاذية غير ملحومة بحجم 8 لترات و 40 لترًا و 43.3 لترًا و 47 لترًا على التوالي ؛ضغط الاسطوانة هو 9.0-13.0MPa.يمكن تخصيص مواصفات التغليف المحددة وتغييرها وفقًا لاحتياجات المستخدم.
